真空机组中前级泵和预抽泵的选择是非常重要的，错误的选择会影响整个工作的流程，甚至会造成很大的经济损失。

配前级泵

前级泵直接影响主泵性能，影响真空系统的抽气时间和经济效益。在真空系统中气体处于稳定流动状态时，则整个管路上任意截面的气流最是相等的。故管路上串联的各泵在单位时间内所抽走的气体也是相等的。但是，管路系统各截面的气压并不相等，各截面的抽速也就不相同。因此，配前级泵的要求是

①保证始终及时地排出主泵所排出的气体流量;

②在主泵出口处造成的压强低于主泵的最大排气压强;

③如果前级兼作预抽真空泵，则还要满足预抽时间和预抽真空度的要求。

配预抽泵

有些主泵，如钛泵和低温泵之类，只需要预抽泵先抽到预备真空，然后就自己独立工作，而不需要前级泵。这种系统的预抽泵抽速，是将真空室在（一般为10~15min)时间内抽到所要求的预真空度的抽速。

另一些主泵，如扩散泵和增压泵，它们既需要前级泵，也需要预抽泵。这时，可将两个抽速进行比较，倘若预抽泵抽速不大于前级泵抽速，则前级泵可兼做预抽泵.不然，则需补设一台预抽真空泵。这台补设的预抽泵的抽速，为前述两抽速之差。