由于某种原因引起电动机超负荷运转，甚至转不动，通常习惯上把这种现象就叫“卡死”真空泵发生卡死的原因是:弹簧损坏，使旋片受力不匀;装配不当，使某局部受力;由于进气口的滤网丢失或损坏，使外部脏物，金属屑、玻璃屑等落入泵腔内。此外，泵转子、旋片端面与端盖间的间隙过小，摩擦发热使旋片伸长或过热过紧的摩擦加之旋片硬度过大，与毛刺互相碾括，使端面产生深划痕，最后烧结卡死。当轴和轴套配合过紧时，再加滑润油路不通畅，也会因互相粘碾卡死泵长时间不用，泵腔内生锈;泵在湿度较大的环境下运转或抽除潮湿气体，使泵油变成乳浊液或泵油结垢甚至结壳泵油粘度过大(冬天);转子在启动瞬间被打裂;有些泵的高、低真空室气道上有半圆槽，其上压的橡皮板被压得太紧，堵死了中间气道通路等等，均易使泵卡死。这种毛病常常是很危险的，因在卡死瞬间，由于转子使电动机超负荷或转不动，易使电机烧毁。即使不烧电机，如不及早停车修理，则会辗坏泵腔，打坏旋片，扭坏转子，烧坏端面等，其后果总是很不好的。
卡死总是发生在转子、旋片与端面或中隔板之间或转子与泵腔之问，而这些部位正是决定一台真空泵的极限压强的关键部位，所以，一发生卡死现象，就要紧急停泵，排除故障，妥善修理，千万不可再试车甚至蛮干，否则很易造成全泵报废，无法修复。前己讲过类似例子。
有些泵的卡死毛病较易修复。例如:上海或常德生产的一种旋片泵，前后级的气体通路是在中隔板顶部铣一半圆槽，上面垫橡皮板，由油箱压紧，当橡皮板太厚、油箱压得太紧或橡皮被油泡久发胀等而使气道半圆槽被堵死时，就会使泵开不动或开一会儿便卡死这时，只需把泵拆开，挖去气道部分所垫橡皮，重新装好即可。
排气阀片被压得太紧也能造成真空泵卡死例如，有一台400L/min的滑阀泵当排气阀被压得过紧跳不开时，便出现了卡死现象此时，只需拆开油窗，将压排气阀的螺母略松一点，调整一下即恢复正常。