爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下一些特点：

1）泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生；

2）抽气原件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）；

3）与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损；

4）在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除；

5）该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防反流的阀门，出口处有截流阀，

电气监控及报警装置；

6）齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑；

7）第二、三、四级均有净化气体入口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需要的可以不用通净化气体，净化气体用三个流量计分

别调节，相互都是独立的，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量；

8）入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可自动开关，真空系

统有可靠的保护，杜绝了向真空室的返流；

9）电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。

当泵出现故障时泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以

满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的保护。操作过程有显示器，有按钮控制，可控制

马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主阀，净化气体向轴封处通气用的

阀门等。故障的监控报警或停车，系统安全自动控制，也可按钮控制。启动时，打开净化气体，泵正常运行3min，净化气体向各段

涌入，通净化气体对泵性能有些影响。每当遇到紧急情况可按自动停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，各级泵净化

1min，净化结束，马达再停车，关闭惰性气体截止阀。