用于真空干燥设备的真空系统经常会出现上述引起真空泵损坏的现象。因为真空干燥处理的目的就是为了排除水蒸气。另外，被干燥的材料或产品在干燥前的储运及制造过程中以及真空罐本身在敞口期间，难免带进不少粉尘和颗粒状杂质。在真空系统处于高压力抽气阶段时，这些杂质有可能被湍流状气流带进真空泵的泵腔内。

为了避免出现由于上述原因而导致机械真空泵损坏，除了要求在工艺过程中尽量使真空系统清洁外，可在真空泵的进气口安装过滤网，阻挡从进气口可能进入到泵腔的杂质污物。在泵的进气口处设置捕污腔，防止万一泵进气口的网破坏或别的原因使污物进入进气口，也只能落在捕污腔中，而不会进入到真空泵腔内。

为防止泵油中的粉尘、颗粒物质随泵油一起进入泵腔，对某些工艺过程，在泵运转过程中应设有连续泵油过滤装置。灰尘、杂质及被污染的油沉入主油箱底部后，通过回油管流入副油箱经过分离、沉淀，乳化后的油、水、灰尘和杂质沉入副油箱底部由排放阀定期放出，而相对干净的油则由设于副油箱中上部的过滤器过滤后经进油管进入分油腔后供给端盖和泵腔工作。

过滤器内的过滤芯在油经过时挡住了机械污染物，净化了泵油。在过滤器上常常设置压力表以显示过滤器是否堵塞。当压力增加，油不能正常流动时，即为过滤器堵塞，应更换或清洗过滤芯。

旋片式真空泵一般每周检查一下油量。换油的时间间隔依工作条件而定。一般因油润滑不良、油分解或污染物太多使泵极限压力上升时，就需要更换油了。