对于滑阀式真空泵的检修，一般要对泵彻底解体，全面检查，测量滑阀与泵体之间的间隙(正常的间隙为0.04~0.12mm);检查泵内的滑阀、导轨泵偏心轮表面有无裂纹，表面有裂纹，立即更换;泵内的密封件全部更换;在泵动态运行上，可应用振动测试仪,每周对泵的振动情况作了测试，根据所测的数据，就可初步判定轴承、滑阀等部件的磨损情况，在轴承运动精度降低的情况下，就将其更换掉，避免由于轴承的磨损而导致滑阀与泵腔之间的撞击与摩擦。对修复的机械泵应用真空表，进行极限压力测试，确定泵的性能和修复效果。对于使用时间长的旧泵，泵的间隙大于0.1mm小于0.2mm，极限真空要求不是很苛刻的，还可选用运动粘度为150mm2/s的真空泵油,也可满足泵的正常工作。

由于泵腔的磨损，导致滑阀与泵腔之间的间隙大于0.2mm的泵，需要与泵的制造厂家配合，根据泵腔的磨损情况，专门制作滑阀、偏心轮、导轨，使之与泵腔保持正常的间隙;对于泵腔磨损、划伤严重的，抽空时间和极限压力不能满足工艺需要的，维修备件费用接近新泵价格一半左右的，已失去维修价值，应更换新的滑阀式真空泵。