真空泵是用来从设备或生产系统中向外抽气，使设备或生产系统处于真空下工作的机器。真空泵的主要工作性能参数有:抽气速率、极限真空度、轴功率及转速等。真空泵的抽气速率是指单位时间内能抽走的气体容积(米3/时)。极限真空度是指泵能达到的最高真空度。

化工生产中常用的真空泵有:往复式真空泵、水环式真空泵和喷射泵等几种。

往复式真空系

往复式真空泵的结构和活塞式压缩机基本相同。

真空泵的特点是压力比很大。例如要达到95%的真空，名义上吸气时的绝对压力为0.005MPa,而排气压力却为0.1Mpa，其压力比为20。由于压力比很大，残存在余隙容积中的气体膨胀后占据的容积就很大，使吸气量大为减少，气缸的有效利用率很低。

为了解决上述问题，一般都在气缸两端的缸壁上开几条比活塞厚度长一些的沟槽，在活塞运行到止点位置时，用来平衡活塞两侧气缸的压力。如当活塞运行到左止点时，左侧气缸排气终了，余隙容积内残存压力较高的气体，右侧缸内吸气终了，压力较低，由于沟槽的连通作用，左侧缸余隙容积内的气体压力随之降低。这样，就使活塞返程运行时，残留气体膨胀占据的容积大为减小，使吸气量增大。活塞运行到右止点也是如此。

往复真空泵适于抽送不含固体颗粒、无腐蚀性的气体。这种真空泵的抽气速率大、真空度高，在化学工业中广泛应用。

我国生产的卧式往复真空泵，型号用w表示。有w-1至W-5五种规格。抽气速率为65~770米3/时，极限真空度为750毫米汞柱。