在冷冻干燥过程中，常用的真空设备是真空机组，此工艺要求的真空度会特别高，而且抽取的气体含有水蒸气或者可凝性气体，所以适用于罗茨水环真空机组。

在具体使用过程中，干燥箱内的总压力直接影响着传向产品的热交换以及通往冷凝器的水蒸气质量转换，所以必须精确控制和测量。

通过降低真空泵抽气能力或关闭真空泵，使升华的不凝性气体逐步在冷阱中聚集，降低冷阱的冷凝速度，从而提高冷阱和干燥箱的压力。该法可提高箱内全压，改善传热条件和升华界面的允许温度，同时暂时关闭泵还可降低运行成本。其缺点主要为传导真空计的测量误差较大．可能导致冷阱结冰不均匀．甚至造成进口处阻塞。