往复真空泵主要部件为泵缸、活塞、活塞杆、吸入阀和排出阀，见图1。

吸入阀和排出阀均为单向阀。当活塞自左向右移动时，工作室容积增大，形成低压，此时排出阀在压出管内液体的压力下关闭而吸入阀则被泵外液体推开，从而将贮液池内的液体经吸入管吸入泵缸内。当活塞移到最右端时，工作室容积最大，吸入的液体盆也最多。此后活塞便改为向左移动，由于泵缸内液体受挤压而使其压强增大，致使吸入阀关闭而排出阀打开，从而将泵缸内液体排出。活塞往复一次，则吸入和排出液体各一次，因此只要活塞不断地作往复运动，就可不断地将液体交替地吸入与排出，达到输送液体的目的。