真空系统中真空泵所用的材料可分为结构和辅助材料。前者是构成真空系统的主要材料.它将真空与大气隔开。承受大气压力一般是金属和/或玻璃。后者指弹性密封材料、绝缘材料、金属密封材料。吸附剂(用于吸水、挡油和吸气的物理的、物理化学的和化学的吸附剂)和真空油脂材料(真空泵油、真空脂、真空泥、真空蜡、真空漆、真空密封胶)等等。

科学技术的发展，特别是计算机、微电子、生物工程、材料科学、表面科学、航天和航海工程等领域的快速发展，对真空科学的要求越来越高。例如，在纳米级电子材料和元器件的开发中，不仅要求真空系统达到超高真空和真空气氛清洁无油.而且要耐腐蚀、耐粉尘。为此.制造各种干式泵、耐腐蚀泵，进一步发展磁悬浮式分子泵和以陶瓷转子取代金属转子来避免由于强磁场及等离子体而产生涡流发热的新型涡轮分子泵等真空获得设备，是很必要的。在真空测量方面，我国与国外也存在较大的差距，主要表现在真空规管的结构、电子线路的设计、集成电路和自动换挡及数字显示等新技术的采用上，以及极高真空测量和特殊条件下的真空测量。促进我国真空测量仪器技术向多用化、自动化及体积小、外形美等方面发展，是一项艰巨任务。