电子能谱仪对真空系统中真空度的要求

电子能谱仪对真空泵中真空度的要求是目前所有大型分析仪器中最高的，一般要优于10-7Pa以上，一方面是因为样品发射出的光电子能最很低，为了减少电子向检测器运动过程中与残留气体发生碰撞而损失信号强度，要求整个能谱仪各部件都处于真空条件;另一方面电子能谱仪是一种表面分析技术，从样品中发射出的携带样品信息的光电子通常来自表面层几十个原子层厚度，因此需要提供一个原子数址级的清沽表面并能在一定时间内保持这个清洁度，任何表面的沾污都将对分析产生不利的影响。很显然，样品表面受污染的程度与环境真空度有关，当真空度为10-5Pa时，3s内样品表面便会吸附一层气体分子，而当真空度为10-7Pa时，吸附一个单分子层则需约lh，这个时间已能满足分析的要求.一个好的真空系统应能满足高真空度(10-7Pa)、抽气速率大、工作时噪声小、无振动、能烘烤等要求。目前用得较多的真空泵有油扩散泵、涡能分子泵、升华钛泵等。