超高真空泛指压强低于1×10-6Pa的真空空间.超高真空的排气是在高真空排气之后进一步排除来自于容器壁的气源。这些气源有被器壁吸附和吸收的气体，有微量的渗透气体。有与固体表面杂质反应产生的气体，还有测量压强的规管因受热而放出的气体等。由此可见.掌握各种材料的放气、渗透和蒸气压的详细资料，以及与超高真空相适应的各种抽气手段是设计好超高真空系统的关键。

超高真空系统设计与高真空系统有相同之处，如管路的流导计算，壳体强度计算，主泵抽速计算及泵之间匹配选择，真空元件的清沽处理及检漏等。

超高真空系统设计也有许多不同之处:选择真空泵的方法不同;对材料要求更为严格;密封结构和密封材料不同;需采用烘烤措施，焊接结构和方法不同;对漏率控制更为严格等。