真空泵是从负压下抽气、一般在大气压下排气的输送机械，其目的是造成并维持工艺系统所要求的真空度。炼油和石油化工生产中常用的真空泵有往复真空泵、水环真空泵和喷射真空泵。

(一)往复真空泵

往复真空泵的构造和作用原理与往复压缩机基本相同，气缸内外压差很小，但其压缩比很大(例如，对于95%的真空度，压缩比约为20左右)。因此，往复真空泵的吸入和排出活门必须轻巧灵活、启闭方便;其余隙容积必须很小，同时为了减小余隙中残余气体对真空泵抽气速率的不良影响，常在真空泵气缸两头的内壁上设有连通活塞两侧的平衡气道，如图2-58中1所示。在排气终了时，平衡气道能使余隙与活塞的另一侧短暂时间相通，以便使余隙中的残存气体通过平衡气道流到活塞的另一用侧.以降低余隙中气体的压力，从而提高了吸气效率，即提高了容积系数。往复真空泵所产生的极限真空可达2kPa左右(绝压)。往复真空泵所排送的气体不应含有液体，如气体中含有大量蒸气，必须把可凝性气体设法除去(一般采用冷凝)之后再进入真空泵内，即往复真空泵属于干式真空泵。

(二)水环式真空泵

水环真空泵在吸气中可允许夹带少量水，属于湿式真空泵。水环真空泵的结构简单紧凑，没有活门，工作安全可靠。但它所能产生的真空度不高，最高可达85%的真空度，且因转子在水中旋转，将引起额外的摩擦阻力损失，因而效率较低，约为30%~50%。水环真空泵运转时，要不断地补充清水，以维持泵内液封，同时也起冷却泵体的作用。

如将水环真空泵的进口接大气，出口接设备时，可作鼓风机用，所产生的风压不超过98kPa(表压)。

(三)旋片真空泵

如果要获得较高真空度时，宜用油封式旋片真空泵，排气阀浸在油箱中，可以防止气体回流到气缸内。气缸外面设有水套，对气缸壁进行冷却。

旋片真空泵可达较高的真空度(极限压力可达0.06Pa)，但抽气速率比较小，适用于抽除干燥或含有少量可凝性蒸气的气体。不适用于抽除含尘和对润滑油起化学作用的气体。

(四)喷射真空泵

喷射真空泵属于流体作用式机械，它是利用高速流体射流时压力能向动能转换所造成的真空来吸送流体的，既可用来吸送气体，也可用来吸送液体。喷射泵的工作流体如果是蒸汽，则为蒸汽喷射泵;工作流体如果是水或其他液体，则称为水或液体喷射泵。