化工生产中的有些过程，常常需要在低于大气压的情况下进行。真空泵就是获得绝对压力低于大气压的机械设备。真空泵的结构型式很多，兹将化工厂中常用的几种真空泵类型介绍如下。
一、往复真空泵
往复真空泵的工作原理与往复压缩机基本相同，结构差异也不大，只是所用的阀门必须更加
轻巧，启闭方便。当所需达到的真空度较高时，压缩比很大，余隙中残留气体的影响便很大，故真空系的余隙必须很小。为了降低佘隙的影响，在真空泵气缸左右两端之间设置平衡气道。活塞排气终了时，让平衡气道连通一个很短的时间，使余隙中残留的气体从活塞的一侧流到另一侧，从而降低其压力。
二、水环真空泵
圆形壳内有一偏心安装的叶轮，泵内装有一定量的水。转子旋转时，由于离心力的作用，将水甩至壳壁上形成水环。此水环起密封作用，把叶片间空隙封闭成许多大小不同的小室。转子旋转到右半部，密封的小室体积逐渐扩大，气体从右边的吸气口吸入;转子旋转到左半部，小室的体积逐渐缩小，气体便由左边的排气口排出。
水环真空泵所形成的其空度受水温限制，一般可达83.4x103Pa左右。该泵也可作鼓风机用，所产生的压力(表压)不超过98.07x103Pa.
水环真空系结构简单、紧凑，制造容易，维修方便，又由于旋转部分没有机械摩擦，故使用寿命长。
水环真空泵适于输送腐蚀性，或易爆性气体。缺点是效率较低，一般为30~50%。
三、水喷射真空泵
喷射泵的工作流体若为水，则称为水喷射泵;若为水蒸气，则称为蒸气喷射泵。
单级蒸气喷射泵压力可达0.01MPa,若要达到更高的真空度，可采用多级喷射系。
喷射真空泵的优点是工作压力范围广，抽气量大，结构简单。缺点是效率很低。
