冶金及化工生产中使用的压缩机主要有往复真空泵和离心压缩机两种。由于离心压缩机的基本结构和工作原理与离心鼓风机完全相同，故下面着重介绍往复真空泵。

往复真空泵的构造和工作原理与往复泵相似。它主要由气缸、活塞、吸气阀和排气阀组成。

往复压缩机是利用曲柄连杆机构，将驱动机的回转运动变为活塞的往复运动，使气体在气缸内完成进气、压缩、排气等过程，由进气阀、排气阀控制气体进入和排出气缸，达到提高气体压力的目的。

往复真空泵的基本结构和操作原理与往复压缩机相同，只是真空泵在低压下操作，气缸内、外压差很小，所用阀门必须更加轻巧、启闭方便。另外，当所需达到的真空度较高时，如95%的真空度，则压缩比约为20。这样高的压缩比，余隙中残余气体对真空泵的抽气速率影响必然很大。为了减小余隙影响，在真空泵气缸两端之间设置一条平稳气道，在活塞排气终了时，使平稳气道短时间连通，余隙中残余气体从一侧流向另一侧，以降低残余气体的压力，减小余隙影响。